XB_T 515-2020CN 钪铝合金靶材.docx

ICS 77.120.99 H 65 中 华 人 民 共 和 国 稀 土 行 业 标 准 XB/T 515—2020 钪铝合金靶材 Scandium-aluminium alloys targets 2020-12-09发布 2 0 2 1 - 0 4 - 0 1 实 施 中 华 人 民 共 和 国 工 业 和 信 息 化 部 发布 XB/T 515—2020 前 言 本标准按照GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本标准由全国稀土标准化技术委员会(SAC/TC 229)提出并归口。 本标准起草单位：湖南稀土金属材料研究院有限责任公司、包头稀土研究院、国合通用测试评价认证 股份公司、有研稀土新材料股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。 本标准主要起草人：刘荣丽、黄美松、王志坚、樊玉川、王贵超、刘华、王小青、宋冠禹、解萍、夏雯、 胡权霞、申立汉。 1 XB/T 515—2020 钪铝合金靶材 1 范围 本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书。 本标准适用于铸造法和粉末冶金法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GJB 1580A 变形金属超声检验方法 GB/T 6060.1 铸造表面粗糙度 GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示与判定 GB/T12690.1 稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 高频-红外吸收法测定 碳、硫 量的测定 高频红外吸收法 GB/T12690.4 稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 氮氧量的测定 脉冲-红外吸 收法和脉冲-热导法 GB/T 17803 稀土产品牌号表示方法 XB/T 402—2016 钪铝合金 3 要求 3.1 产品分类 产品按化学成分分为ScAl-30、ScAl-20、ScAl-15、ScAl-8 四个牌号，产品牌号表示方法应符合 GB/T 17803的规定。 3.2 化学成分 产品的化学成分应符合表1的规定。需方如有特殊要求，供需双方可另行协商。 表1 化学成分 产品牌号 ScAl-30 ScAl-20 ScAl-15 ScAl-8 化学成分 (质量分数) /% Sc 30±0.5 20±0.5 15±0.5 8±0.5 Al 余量 余量 余 量? 余量 杂质含量， 不大于 稀土杂质含量 0.0030 0.0020 0.0015 0.0010 Fe 0.0060 0.0040 0.0030 0.0020 Si 0.0030 0.0020 0.0015 0.0010 2 XB/T 515—2020 表 1 化学成分(续) 产品牌号 ScAl-30 ScAl-20 ScAl-15 ScAl-8 化学成分 (质量分数) /% 杂质含量， 不大于 Ca 0.0020 0.0020 0.0020 0.0020 Na 0.0010 0.0010 0.0010 0.0010 Cu 0.0060 0.0040 0.0030 0.0020 Cr 0.0040 0.0030 0.0020 0.0010 C 0.0050 0.0050 0.0050 0.0050 S 0.0005 0.0005 0.0005 0.0005 0 0.030 0.030 0.030 0.030 N 0.0010 0.0010 0.0010 0.0010 Sc成分偏析度 士0.3 ±0.2 ±0.15 ±0.1 注：稀土杂质是指除Pm、Sc以外的所有稀土元素。 余量表示总量与钪(Sc)和杂质量的差值。 3.3 平均晶粒尺寸 平均晶粒尺寸不大于200 μm。 3.4 内部质量 产品内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷。 3.5 表面粗糙度 表面粗糙度(Ra) 不大于1.0 μm。 3.6 几何尺寸及允许偏差 产品尺寸及结构方式一般根据需方提供图纸确定，经供需双方协商确定并在订货单(或合同)中注 明。如果需方图纸未提供允许偏差，则产品尺寸允许偏差应符合±0.05 mm 的要求。 3.7 外观质量 3.7.1 产品为银灰色合金。 3.7.2 产品表面应清洁光滑，无指痕、油污、锈蚀，无颗粒附加物，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。 4 试验方法 4.1 化学成分 4.1.1 钪总量的分析方法按照XB/T 402—2016 附录 A (资料性附录)的规定进行