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本公开涉及极紫外线光掩模及其制造方法。一种反射掩模包括:衬底;反射多层,设置在衬底上;帽盖层,设置在反射多层上;以及吸收体层,设置在帽盖层上。吸收体层包括第一铬基质层和第二铬基质层的一个或多个交替对,第二铬基质层不同于第一铬基质层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113126420 A
(43)申请公布日
2021.07.16
(21)申请号 20201
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