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一种气相沉积炉用陶瓷热电偶与刚玉陶瓷护管间防黏连方法.pdfVIP

一种气相沉积炉用陶瓷热电偶与刚玉陶瓷护管间防黏连方法.pdf

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    本发明公开一种气相沉积炉用陶瓷热电偶与刚玉陶瓷护管间防黏连方法，包括以下步骤：材料准备：耐高温陶瓷热电偶一支，刚玉陶瓷护管一支，氮化硼溶液1～2L，碳纤维丝束约5米长和碳毡片；陶瓷热电偶与刚玉陶瓷护管表面用氮化硼溶液处理；对碳纤维丝束预处理；将碳纤维丝束捆裹热电偶本体及刚玉陶瓷护管；将捆裹好的陶瓷热电偶本体与刚玉陶瓷护管组装，将碳毡片塞进护管，组装完成。本发明可以有效地延长陶瓷热电偶在气相沉积炉内的使用寿命，减少更换热电偶频次，提高生产效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113125027 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202110420410.1 (22)申请日 2021.04.19 (71)申请人 福建康碳复合材料科技有限公司

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