一种旋转靶材的绑定密封结构.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种旋转靶材的绑定密封结构.pdf

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本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定密封结构。密封结构包括设在相邻两节靶管之间的间隙垫片，间隙垫片粘接上下两个靶管的端面，两节靶管外壁在该间隙处粘接一圈高温胶带，还包括粘接在高温胶带外周的导热金属片和围在金属片外的紧固层，金属片和紧固层一起通过卡箍固定在靶管外周。该旋转靶材的绑定密封结构对多节靶管之间的间隙进行密封处理，减少间隙内的氧含量，使得金属铟在绑定过程中不容易在空气中氧化，提升铟与靶材/背管的贴合率。两节靶管外壁的高温胶带外还粘接了导热金属片，然后才在金属片外设

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113136555 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110605681.4 (22)申请日 2021.05.31 (71)申请人广州市尤特新材料有限公司