1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

遮挡装置及具有遮挡装置的薄膜沉积机台.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.41万字
  • 约 15页
  • 2023-06-14 发布于北京
  • 举报

遮挡装置及具有遮挡装置的薄膜沉积机台.pdf

    本发明提供一种具有遮挡装置的薄膜沉积机台，包括一反应腔体、一承载盘、一遮挡装置及至少两个光传感器，其中承载盘及部分的遮挡装置位于反应腔体的容置空间内。遮挡装置包括两个遮挡单元及至少一驱动装置，其中驱动装置连接并驱动两个遮挡单元朝相反方向摆动，使得两个遮挡单元操作在开启状态及遮挡状态。两个遮挡单元的上表面皆设置一遮挡凸部及一感测区，其中感测区与遮挡凸部相邻，用以阻隔污染物沉积在感测区，以提高光传感器感测遮挡单元位置的准确性。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116254516 A (43)申请公布日 2023.06.13 (21)申请号 202111499369.8 C23C 14/54 (2006.01) (22)申请日 2021.12.

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >