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2023-06-14 发布于四川
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本发明的探针单元，包括：第一接触探针，其与信号用电极接触；第二接触探针，其与基准电位用电极接触；探针保持部，其形成有插通第一接触探针的第一保持孔、及插通第二接触探针的第二保持孔；以及导电性的可动部件，其形成有从一端侧插入第一接触探针的一端部且从另一端侧插入接触对象的电极的第一贯通孔、及从一端侧插入第二接触探针的一端部且从另一端侧插入基准电位用电极的第二贯通孔，其中探针单元构成为第一接触探针的中心轴与可动部件的第一贯通孔的中心轴一致的同轴结构。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167815 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980078263.5 (74)专利代理机构北京德崇智捷知识产权代理