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本发明提供了一种复合薄膜,包括二氧化钛凝胶薄膜和氧化锌纳米薄膜,所述二氧化钛凝胶薄膜中的二氧化钛与所述氧化锌纳米薄膜中的氧化锌纳米颗粒结合。本发明提供的氧化锌复合薄膜,可以降低氧化锌纳米薄膜的表面粗糙度,并减少ZnO纳米颗粒的表面缺陷,增加载流子注入平衡,增加发光器件的发光效率及发光寿命。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113130825 B
(45)授权公告日 2022.05.13
(21)申请号 201911400144.5 H01L 51/56 (2006.01)
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