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离子注入设备的离子束碎片捕集装置.pdfVIP

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  • 2023-06-14 发布于北京
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离子注入设备的离子束碎片捕集装置.pdf

    本发明公开了一种离子注入设备的离子束碎片捕集装置，包括束线室，所述束线室设置为横向贯穿的离子束通道；所述束线室底部的前段沿离子束出口的方向向下倾斜设置，后段设置有向下凹陷的容纳腔，所述容纳腔上方水平设置有一块挡板，所述挡板与所述容纳腔形成一个离子束碎片捕集空间。本发明的离子束碎片捕集装置能有效捕集离子束碎片，极大减少流入工艺腔的离子束碎片。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116259515 A (43)申请公布日 2023.06.13 (21)申请号 202111500495.0 (22)申请日 2021.12.09 (71)申请人 成都高真科技有限公司 地址 61

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