图案化金属层的方法.pdfVIP

图案化金属层的方法.pdf

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本公开内容提供图案化装置(例如，半导体装置)的金属层的方法，以在互连层中形成特征，此方法作为用于制造装置的互连结构的处理的一部分。所披露的方法说明具有改善选择性的图案化钼层的处理。例如，本公开内容提供藉由退火或蚀刻改性和移除钼层的区域的方法，而不损坏其他装置结构或材料。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169116 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980078544.0 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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