HG_T 4559-2013 超净高纯硫酸.docx

ICS 71.060.30 号：41883—2013 HG 中华人民共和国化工行业标准 HG/T 4559—2013 超净高纯硫酸 Ultra-clean and high-purity sulfuric acid 2013- 10- 17发布 2014-03-01 实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 I HG/T 4559—2013 前 言 本标准按照GB/T 1.1 2009 给出的规则起草。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会硫和硫酸分技术委员会(SAC/TC63/SC7) 归口。 本标准起草单位：南化集团研究院、浙江吉华集团股份有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公 司、江阴润玛电子材料股份有限公司、江阴市化学试剂厂有限公司、天津渤大硫酸工业有限公司、江苏省 产品质量监督检验研究院。 本标准主要起草人：冯俊婷、邱爱玲、顾林建、殷福华、何珂、李虎宝、刘强、王伟、徐萍。 1 HG/T 4559—2013 超净高纯硫酸 警告：本标准中使用的部分试剂具有毒性或腐蚀性，部分操作具有危险性。本标准并未揭示所有可 能的安全问题，使用者应严格按照有关规定正确使用，并有责任采取适当的安全和健康措施。 1 范围 本标准规定了超净高纯硫酸的要求，试验方法，检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于由工业硫酸或三氧化硫制得的超净高纯硫酸。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 605 化学试剂 色度测定通用方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9727 化学试剂 磷酸盐测定通用方法 GB/T 11446.1 电子级水 GB 15346 化学试剂 包装及标志 GB 50073 洁净厂房设计规范 HG/T 3921 化学试剂 采样及验收规则 3 要求 3.1 外观 超净高纯硫酸应为无肉眼可见杂质的无色透明液体。 3.2 规格 超净高纯硫酸按纯度分为 EL 级 、VL 级 、UL 级 、SL 级 和 XL, 级共5个等级，其产品质量应符合表 1 的要求。 2 HG/T 4559—2013 表1 项 目 指 标 EL.级 VL级 UL级 SL级 XL级 硫酸(H?SO?)vw/% 95.0～98.0 95.0～98.0 95.0～98.0 95.0～98.0 95.0～98.0 色度/黑曾 10 10 10 10 10 颗粒≥1.0μm/(个/mL) ≤ 25 10 5 颗粒≥0.5μm/(个/mL) ≤ 100 25 5 颗粒≥0.3μm/(个/mL) ≤ 100 颗粒≥0.2μm/(个/ml.) 300 200 氯化物(Cl)w/(mg/kg) 0.2 0.1 0.1 0.05 0.05 硝酸盐(NO?)w/(mg/kg) ≤ 0.2 0.2 0.2 0.1 0.1 磷酸盐(PO))w/(mg/kg) ≤ 0.5 0.5 0.5 0.1 0.1 铵盐(NH+)w/(mg/kg) ≤ 1 1 1 0.5 0.5 还原高锰酸钾物质(以SO?计)?/(mg/kg) ≤ 2 2 1 1 0.5 铝(Al)w/(μg/kg) ≤ 50 10 0.1 砷(As)w/(yg/kg) ≤ 10 5 5 0.1 钡(Ba)w/(μg/kg) ≤ 50 10 1 0.1 硼(B)w/(ng/kg) 50 20 0.1 镉(Cd)w/(μg/kg) 50 10 1 0.1 钙(Ca)w/(μg/kg) 200 10 1 0.1 铬(Cr)w/(μg/kg) ≤ 20 10 0.1 钴(Co)w/(pg/kg) 20 10 1 0.1 铜(Cu)w/(pg/kg) 100 20 10 1 0.1 金(Au)