基板输送装置及其运行方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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基板输送装置及其运行方法.pdf

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本发明涉及基板输送装置及其运行方法，基板输送装置(101)保持并输送基板(1)。该基板输送装置(101)具备保持基板(1)的机械手(20)、安装有机械手(20)的操纵装置(30)、以及配置于机械手(20)并探测距基板(1)的主面的距离的基板检测器(60)。优选基板检测器(60)配置于机械手(20)的前端部。优选基板检测器(60)是静电电容传感器。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113165189 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980079455.8 (74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限