用于确定样品表面处的压力的方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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用于确定样品表面处的压力的方法.pdf

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描述了一种用于监测放置在样品区域(2)中的样品(1)的样品表面(Ss)处的样品压力的方法，其中样品表面(Ss)面对位于壁(6)中的孔(3)，该壁将样品区域(2)与被抽真空的低压腔室(4)分隔开。该方法包括以下步骤：确定样品表面(Ss)处的样品参考压力与低压腔室(4)中的腔室参考压力之间的关系；将样品(1)设置成使样品表面(Ss)在距孔(3)一段距离处面对孔(3)(103)；提供样品压力(104)；测量低压腔室(4)内的腔室压力(105)；以及使用测得的腔室压力以及所确定的样品参考压力和腔室参考压

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169016 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980079910.4 (74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限