用于马兰戈尼干燥的方法和设备.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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用于马兰戈尼干燥的方法和设备.pdf

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公开了一种用于马兰戈尼(Marangoni)基板干燥的方法和设备，其包括可调整的喷雾棒组件，可调整的喷雾棒组件具有：耦接至干燥系统的支撑结构的安装支架；耦接至安装支架并设置成与支撑结构的面平行的基底组件；以及耦接至基底组件并与基底组件平行的安装组件。安装组件在两个远端处在垂直方向上可调整。安装组件包括臂，一个或多个喷雾棒可设置在臂上。当固定到安装组件时，一个或多个喷雾棒可围绕纵向轴线旋转。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169098 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980079388.X (74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公