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一种芯片机器人,其特征在于,包括逻辑处理控制单元(2),和至少一组能量接收单元(1),动力单元(11);所述动力单元(11)用于与外场(15)产生力的相互作用;所述逻辑处理控制单元(2)使用所述能量接收单元(1)接收到的能量,控制、驱动所述动力单元(11)与所述外场(15)作用,使所述芯片机器人运动。所述芯片机器人的所有部件都在单个晶圆上通过芯片制造工艺制作完成,再用光刻技术的掩膜刻蚀工艺将晶圆上的芯片机器人分割成单个的芯片机器人,所述芯片机器人配合外界电磁环境(电场、磁场)和信号接收发送装置对
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113119134 A
(43)申请公布日
2021.07.16
(21)申请号 20191
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