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本发明提供了一种MEMS器件的ESD保护系统，其包括控制电路、电性连接所述控制电路的MEMS器件以及电性连接控制电路且与MEMS器件并联的ESD保护装置，ESD保护装置包括电性连接控制电路的上电极组件、具有悬臂弹性的悬臂以及下电极组件，悬臂包括电性连接所述控制电路的第一电极层、电性连接MEMS器件的第二电极层以及电性连接第二电极层的可动金属触点，下电极组件包括电性连接MEMS器件的下电极层、电性连接下电极层且与可动金属触点相对的固定金属触点。本发明MEMS器件的ESD保护系统的ESD保护装置能够
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113104803 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110373346.6 B81B 7/00 (2006.01)
(22)申请日 20
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