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公开了一种生物传感器、超表面装置以及制造其的方法。所述超表面装置包括介电层、铝纳米盘和铝层。介电层包括彼此相对的顶表面和底表面。介电层还包括在介电层的顶表面与底表面之间延伸的至少一个环状腔。铝纳米盘形成在介电层中的所述至少一个环状腔中。铝层形成在介电层上，并且包括在铝层的顶表面与底表面之间延伸的至少一个环状腔。铝层中的每个环状腔对应于介电层中的环状腔。两种或更多种分析物可以响应于预定波长的光入射在超表面装置上并且其中所述两种或更多种分析物存在于介电层处而发射荧光。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113140911 A
(43)申请公布日 2021.07.20
(21)申请号 202110029804.4 G01N 33/533 (2006.01)
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