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在半导体装置中优选晶体管等开关元件的阈值电压的变动小。提供一种半导体装置，其具备：半导体基板，其具有上表面和下表面并设置有第一导电型的漂移区；沟槽部，其以从半导体基板的上表面到达漂移区的方式设置；以及台面部，其被夹在沟槽部之间，台面部具有：第二导电型的基区，其设置在漂移区与上表面之间；以及第一区域，其在台面部内的第一深度位置具有氢化学浓度的浓度峰。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113140616 A
(43)申请公布日 2021.07.20
(21)申请号 202110055667.1
(22)申请日 2021.01.15
(30)优先权数据
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