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一种对位模块及真空蒸镀装置.pdfVIP

一种对位模块及真空蒸镀装置.pdf

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    本发明涉及一种对位模块及真空蒸镀装置，其中，对位模块，用以实现掩膜版上对位孔与硅基板上对位标志的对位配合，包括：置于所述对位孔正下方的镜面；以及置于所述镜面外侧的图像采集装置。有益效果是：将原本位于腔室内部的对位摄像头改到腔室外部，通过腔室内的镜面将对位画面反射到摄像头实现对位，可以避免摄像头镜头被蒸发的OLED材料污染；避免摄像头被加热源长时间烘烤的问题，大大延长了摄像头的使用寿命；便于维修或更换，可以让设备快速恢复工艺状态，提高生产效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113136545 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110453590.3 (22)申请日 2021.04.26 (71)申请人 睿馨（珠海）投资发展有限公司

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