具有改良的热耦合以用于热敏感处理的静电吸盘.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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具有改良的热耦合以用于热敏感处理的静电吸盘.pdf

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本文提供了具有改善ESC与基板之间的热耦合的内部气体通道的静电吸盘(ESC)的实施方式，以及包含该静电吸盘的基板支撑件和处理腔室。在一些实施方式中，静电吸盘包括电极、介电体与气体分配通道，该介电体具有圆盘形状并覆盖该电极，该介电体包含中心区域和周围区域，且该介电体包含下表面与上表面，该下表面具有中心开口，该上表面在该中心区域中具有第一开口以及在该周围区域中具有多个第二开口，其中该上表面包含多个突部，且该多个第二开口中的各者的直径大于25.0密耳，气体分配通道从下表面延伸到上表面，以在介电体内限定

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169111 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980080012.0 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理