一种蒸发物料控制系统和方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种蒸发物料控制系统和方法.pdf

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本发明公开了一种蒸发物料控制系统和方法，包括若干个坩埚，坩埚用于盛放蒸发物料；坩埚的底部均设置有压力传感器，坩埚的外侧均设置有加热装置，加热装置通过控制装置控制加热功率，坩埚的内腔通过导管连通储料箱，导管上设置有阀门；压力传感器的输出端均连接数模转换器的输入端，数模转换器的输出端分别连接数据比较器输入端和控制装置的输入端，数据比较器输出端连接控制装置的输入端；数据比较器数据连接内置比较值的数据存储器；控制装置控制阀门的开启或关闭。能对无蒸发物料的蒸发源坩埚及时补充蒸发物料，增加设备的运行时间，提

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113136549 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110536850.3 C23C 14/54 (2006.01) (22)申请日 2