一种多组顶针机构.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种多组顶针机构.pdf

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本发明公开了一种多组顶针机构，旨在提供一种成本低、易于使用及能够满足不同规格芯片的多组顶针机构。本发明包括Z轴直线模组及旋转装置，所述Z轴直线模组上设置有顶升脱膜机构，所述旋转装置上配合设置有旋转座，所述旋转座沿圆周方向上设置有若干个第一导轨，若干个所述第一导轨上均滑动配合有顶针头组件，所述Z轴直线模组驱动所述脱膜机构顶升所述顶针头组件。本发明应用于顶针机构的技术领域。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113140499 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110559745.1 (22)申请日 2021.05.21 (71)申请人长园半导体设备（珠海）有限公司