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描述了与半导体结构形成相关的系统、设备和方法。实例设备包括用于半导体装置的结构材料。所述结构材料包括具有数个氧(O)原子和化学键的原硅酸盐衍生的低聚物,所述数个氧(O)原子各自化学键合至对应数量的硅(Si)原子中的一个上,所述化学键在来自元素周期表的第13族的元素(例如B、Al、Ga、In和Tl)和所述原硅酸盐衍生的低聚物的所述数个O原子之间形成。相对于没有所述化学键交联链而形成的所述结构材料,所述化学键使所述原硅酸盐衍生的低聚物的链交联以增加所述结构材料的机械强度,以及具有本文中所述的其它益处
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130754 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202011330998.3 H01L 27/28 (2006.01)
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