成角度的光栅的旋转K矢量的调制.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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成角度的光栅的旋转K矢量的调制.pdf

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本文中所述的实施方式涉及方法及装置，这些方法及装置用于使用成角度蚀刻系统及/或光学设备来在基板上形成具有带有不同斜角的多个鳍片的光栅及在相继的基板上形成带有不同斜角的鳍片。这些方法包括以下步骤：将固位在工作台上的基板的部分定位在离子束的路径中。这些基板具有设置在这些基板上的光栅材料。该离子束被配置为相对于这些基板的表面法线用离子束角Q接触该光栅材料及在该光栅材料中形成光栅。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167948 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980081505.6 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理