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一种基片处理系统及其工作方法，其中，基片处理系统包括：传输腔，具有若干个第一基片传输口；若干个工艺腔，各个所述工艺腔具有第二基片传输口，所述第二基片传输口与第一基片传输口一一相对设置，各个所述工艺腔具有密封阀板，所述密封阀板用于密封第二基片传输口；共享阀板，用于密封所述第一基片传输口；传输轨道，用于传输所述共享阀板；驱动装置，用于使所述共享阀板密封第一基片传输口。所述基片处理系统既能够减少工艺腔与传输腔之间阀板的个数，又能够实现对工艺腔进行维护时不破坏传输腔内的真空环境。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130345 A
(43)申请公布日
2021.07.16
(21)申请号 20191
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