双面晶圆成像装置及其方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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双面晶圆成像装置及其方法.pdf

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提供一种双面晶圆成像装置及其方法。双面晶圆成像装置包括一或多个装载端、一或多个机械手臂、一晶圆输送载台、一第一线扫描相机、一第二线扫描相机、一第一光学镜片、一第二光学镜片以及多个线光源。装载端经配置以用于一自动搬运装置的一晶圆盒的一自动装载操作或是卸载操作。机械手臂用于搬运一晶圆。晶圆传输载台包括多个真空吸点，接触该晶圆的一背面，晶圆传输载台还包括一驱动马达，产生一线性来回移动，以移动该晶圆。第一线扫描相机安装在该晶圆传输载台下方。第二线扫描相机安装在该晶圆传输载台上方。该第一光学镜片安装在该第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113155840 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110062148.8 (22)申请日 2021.01.18 (30)优先权数据