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本发明涉及一种结合磁场的压电驱动器位移测量系统和测量方法,属于精密机械领域。包括驱动模块、驱动器样机、测量模块和电压采集处理模块。驱动模块使驱动器样机输出位移,在磁场力作用下,测量模块的压电晶片随位移输出发生弹性形变,由于压电效应,压电晶片左右表面产生相反电荷,由电荷放大器放大并转换成电压输出,经电压采集处理模块将电压信号采集并进行处理分析,实现对驱动器位移的测量。优点在于:结合磁场将位移转换成电压输出,通过比对标定位移和电压实现对大行程位移的测量;对输出电压的监测可辅助构建反馈控制系统,对改善
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113108682 B
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202110430002.4 (56)对比文件
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