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本发明涉及一种龙门式三轴减振原位干涉测量机。为了解决现有技术中没能提供专门和全面进行减振的原位测量设备,以及原位检测精度和稳定性不良的问题。本发明的技术方案包括倒“U”型横梁,横梁内设置有Y轴传动系统,Z轴传动系统安装在Y轴传动系统的溜板上,测量头安装在Z轴传动系统的溜板上,以此实现测量头沿Y、Z轴方向的运动;两个立柱分别通过减振装置设置于横梁的两个竖杆下端;两个立柱的下端设置于立柱底座上,立柱底座的底面安装在X轴传动系统的溜板上,实现测量头沿X轴方向的运动,X轴传动系统设置于凹型铸铁底板的凸缘
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113108184 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110430688.7
(22)申请日 2021.04.21
(71)申请人 西安
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