光学滤光器装置及光学滤光器装置的控制方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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光学滤光器装置及光学滤光器装置的控制方法.pdf

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本发明的光学滤光器装置具备法布里‑珀罗干涉滤光器及电阻测定部。法布里‑珀罗干涉滤光器具备：第1构造体，其具有第1表面、及第2表面；第2构造体，其具有第3表面；第1镜部，其设置于第1构造体；第2镜部，其以隔着空隙而与第1镜部相对的方式设置于第2构造体；第1驱动电极，其设置于第1构造体；第2驱动电极，其设置于第2构造体；第1端子及第3端子，其电连接于第1驱动电极；及第2端子，其电连接于第2驱动电极。第1驱动电极从第1表面与第3表面相对的相对方向观察时与空隙重叠。在相对方向上，第1驱动电极与空隙之间的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167995 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980080024.3 (74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限