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本公开公开了一种气压传感器芯片及其制备方法。该气压传感器芯片包括两个第一电容及两个第二电容;两个所述第一电容中的一者与两个所述第二电容中的一者串联组成第一支路,两个所述第一电容中的另一者与两个所述第二电容中的另一者串联组成第二支路,所述第一支路与所述第二支路并联;所述第一电容被配置为容值可在外界气压的作用下增大;所述第二电容被配置为容值可在外界气压的作用下减小。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113125069 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110259166.5
(22)申请日 2021.03.10
(71)申请人 潍坊歌尔微电子有限公司
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