XB_T 512-2020CN 镝、铽金属靶材.docx

5 77.120.99 XB 中 华 人 民 共 和 国 稀 土 行 业 标 准 XB/T 512—2020 镝、铽金属靶材 Dysprosium, terbium metal targets 2020-12-09发布 2021-04-01 实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 XB/T 512—2020 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009 给出的规则起草。 本标准由全国稀土标准化技术委员会(SAC/TC 229)提出并归口。 本标准起草单位：包头稀土研究院、湖南稀土金属材料研究院有限责任公司、国合通用测试评价认证 股份公司、虔东稀土集团股份有限公司、江苏金石稀土有限公司、福建省长汀金龙稀土有限公司、信丰县 包钢新利稀土有限责任公司、厦门稀土材料研究所。 本标准主要起草人：李静雅、刘威、刘小鱼、解萍、刘荣丽、鲁飞、姚南红、章立志、夏雯、刘志勇、刘树峰、 李慧、孙良成、郑天仓、张永健、张相良、杨帆。 1 XB/T 512—2020 镝、铽金属靶材 1 范围 本标准规定了镝、铽金属靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量证明书。 本标准适用于真空冶炼法制得的镝、铽金属靶材，主要用于制备钕铁硼磁控溅射镀膜等。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GJB 1580A 变形金属超声检测方法 GB/T 6060.1 表面粗糙度比较样块 第1部分：铸造表面 GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示与判定 GB/T12690 (所有部分) 稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 GB/T 14635 稀土金属及其化合物化学分析方法 稀土总量的测定 GB/T 15056 铸造表面粗糙度评定方法 GB/T18115.8 稀土金属及其氧化物中稀土杂质化学分析方法 铽中镧、铈、镨、钕、钐、铕、钆、镝、 钬、铒、铥、镱、镥和钇量的测定 GB/T18115.9 稀土金属及其氧化物中稀土杂质化学分析方法 镝中镧、铈、镨、钕、钐、铕、钆、铽、 钬、铒、铥、镱、镥和钇量的测定 GB/T 25915.1—2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级 3 要求 3.1 产品分类 3.1.1 牌号 产品按化学成分分为T-Dy-4N、T-Dy-3N、T-Dy-2N、T-Tb-4N、T-Tb-3N、T-Tb-2N六个牌号。 3.1.2 牌号表示方法 镝、铽金属靶材牌号共分三个层次，其中第一层次用靶材的英文首字母“T ”表示；第二层次表示产品 类别，用元素符号表示；第三层次表示产品的级别(规格),采用其稀土相对纯度(质量分数)来表示，当产 品稀土相对纯度(质量分数)不小于99%时，则用质量分数中“9”的个数加“N”来表示(“N”为数字9的英 文首字母),如99%用2N 表示。具体表示方法如下： 2 XB/T 512—2020 T - Dy - XN 金属的稀土相对纯度 X为阿拉伯数字 金属镝 靶材产品 T - Tb - XN 金属的稀土相对纯度 X为阿拉伯数字 金属铽 靶材产品 示例：T-Dy-2N表示相对纯度99%的镝金属靶材产品；T-Tb-4N 表示相对纯度99.99%的铽金属靶材产品。 3.2 化学成分 镝金属靶材产品的化学成分应符合表1的规定。铽金属靶材产品的化学成分应符合表2的规定。 需方如有特殊要求，供需双方可另行协商。 表 1 镝金属靶材产品化学成分 产 品 牌 号 T-Dy-4N T-Dy-3N T-Dy-2N 化学成分 (质量分数) /% Dy,不小于 99.0 99.0 99.0 Dy/RE,不小于 99.99 99.9 99.0 杂质含量， 不大于 稀土杂质合量/RE,不大于 0.01 0.1 1.0 非稀土 杂质 Fe 0.05 0.05 0.05 Si 0.05 0.05 0.05 Mg 0.02 0.02 0.02 Al 0.03 0.03 0.03 Ca 0.03 0.03 0.03 Ni 0.005 0.005 0.005 Cu 0.005 0.005 0.005 C 0.02 0.02 0.02 S 0.01 0.01 0.01 0 0.1 0.1 0.1 N 0.05 0.05 0.05 Ta(或Mo、W) 0.1 0.1 0.1 表 2 铽金属靶