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本发明提供了一种氮化硅陶瓷球及其制备方法，属于陶瓷材料技术领域。本发明采用真空注凝成形的方法，可以实现球形度高、密度均匀的大尺寸、超大尺寸氮化硅陶瓷球的成形；本发明采用微波干燥，干燥速度快，坯体变形小；本发明对排胶后的陶瓷球进行冷等静压处理，有利于烧结后陶瓷球致密度的提升；本发明采用两步气压烧结工艺，有利于陶瓷球内部气孔的排除和致密度的进一步提升。本发明采用注凝成形结合冷等静压成形以及两步气压烧结的方法制备的大尺寸、超大尺寸氮化硅陶瓷球的表面和芯部在相对密度、维氏硬度及断裂韧性等性能上不存在明显
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113135762 B
(45)授权公告日 2022.03.08
(21)申请号 202110525631.5 (51)Int.Cl.
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