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本申请涉及热电薄膜的制备领域，提供一种用硒氛围化合制备热电薄膜的方法及热电薄膜，以解决现有硒化物的制备通常采用共蒸发法、化学法等方法制备，其工艺复杂、对于材料成分的稳定不能保证以及硒元素在高温下容易蒸发造成硒元素的偏失等问题。所述方法包括：采用靶材在衬底上制备前驱膜，以使所述前驱膜沉积在所述衬底上；夹持并封合所述衬底和所述前驱膜的周缘，并将夹持并封合后的所述衬底和所述前驱膜放置在反应炉内，其中，所述前驱膜的端面朝上；将硒粉末加入到所述反应炉内；封闭并加热所述反应炉，以使所述前驱膜与所述硒粉末进行
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116253297 A
(43)申请公布日 2023.06.13
(21)申请号 202211724803.2 C23C 14/35 (2006.01)
(22)申请日 2022.12.
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