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本发明提供一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，包括：腐蚀监测子系统，所述腐蚀监测子系统包括检测带，所述检测带用以安装于所述处理设备的腔体的焊接部位；堵塞监测子系统，所述堵塞监测子系统包括光电传感器，所述光电传感器用以安装于所述处理设备的管道的易堵塞位置；信息处理显示子系统，所述信息处理显示子系统分别与所述检测带和所述光电传感器连接。本发明实现检测带对腔体的焊接部位的腐蚀渗漏的定点实时监测，光电传感器对管道的易堵塞位置的定点实时监测，信息处理显示子系统采集、处理并显示监测信息，提高对腐蚀点和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113154264 B
(45)授权公告日 2022.05.24
(21)申请号 202110468567.1 (51)Int.Cl.
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