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反应室(100A)用于反应器，用于在基底(62)上沉积半导体材料；反应室沿纵向方向延伸，并包括沿该纵向延伸的反应和沉积区域(10)；该区域(10)由适于通过电磁感应加热的感受器元件(21A、21B、21C、22A、22B、31、32)限定；第一感受器元件(21A、21B、21C、22A、22B)与室的基底支撑元件(61)相对，并且具有孔(20)，该孔沿着其整个长度在纵向方向上延伸；第一感受器元件(21A、21B、21C、22A、22B)具有取决于其纵向位置的不均匀的横截面。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113195780 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 201980083556.2 毛里利奥 ·梅斯基亚
(22)申请日 2019.10.
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