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2023-06-15 发布于四川
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本发明提供一种保持工作台，该保持工作台在保持有切割后的芯片部件的芯片保持区域不会产生夹气、褶皱，能够缩短直至吸附完成为止的时间，且构造比较简单。具体而言，一种保持工作台，其是保持切割后的芯片部件的安装于晶片环的扩展片的保持工作台，其特征在于，扩展片具有粘接性的第一面和非粘接性的第二面，该保持工作台具备：外周支撑部，其从第二面侧抵接并以规定的姿势支撑扩展片中的保持芯片部件的芯片保持区域的外周部分；内周支撑部，其从第二面侧抵接并以平坦的姿势支撑扩展片中的包含芯片保持区域的内周部分；以及负压吸引部，其

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113196460 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 201980082928.X (74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限

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