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本发明涉及一种元素分析方法。所述方法包括:利用激发束来照射预定照射区域以生成特征X射线;使特征X射线部分地经过狭缝;使通过所述狭缝的X射线进入平板状分光晶体以基于布拉格反射定律而选择性地被反射;检测X射线的强度来获得波长谱;以及基于波长谱中的峰的能量来识别试样中的元素和/或基于峰的强度来确定所述元素的量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113155876 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110373638.X
(22)申请日 2016.12.08
(30)优先权数据
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