一种晶圆料盒智能存储柜.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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本实用新型涉及的一种晶圆料盒智能存储柜，包括存储柜本体，存储柜本体内具有储物腔，所述储物腔内设置有储物架，所述储物架上具有若干个用于存储晶圆料盒的存储区间，所述储物腔的侧面连接有氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件。本实用新型的有益效果是：通过氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件的设置，能够快速完成储物腔中氮气的换气，为晶圆构建出良好的存储环境，通过氮气浓度检测仪对储物腔中的氮气含量进行实时监测，在监测到储物腔中的氮气含量低于设定阈值时，能够通过连接在控制器的报警装置及时发出报警，降低存储在储物

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219172993 U (45)授权公告日 2023.06.13 (21)申请号 202220822178.4 (22)申请日 2022.04.11 (73)专利权人唯实先端智能科技（苏州）有限公