一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机及其使用方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机及其使用方法.pdf

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本发明公开一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，包括箱体，所述箱体的底部四角均固接有底座，两个所述第一竖杆分别固接于箱体的内壁底部左右两侧，所述第二竖杆的外壁与第一竖杆的内壁间隙配合，两个所述第二竖杆分别固接于横板的底部左右两侧，所述第一竖杆的内壁设有第一弹簧，所述第二弹簧的另一端固接于第一横杆的外壁。该具有限位机构的集成电路用刻蚀机，使得当刻蚀机进行工作产生震动时，会将震动力传递至横板，并通过横板的震动，使得横板带动第二竖杆在第一竖杆的内壁进行升降运动，使得通过第二拉簧给予第一杆体带动板体对刻蚀

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113178402 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110235833.6 (22)申请日 2021.03.03 (71)申请人吴青云地址 210