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本发明揭示了磨具、其加工方法、磨抛装置及研磨方法，其中磨具包括载具，其上形成有从后端面延伸至前端的冷却流道，冷却流道的进、出口位于载具的后端面，载具至少前端区域为非隔热材料；载具的后端连接流体滑环；载具的前端设置容置空间，形成容置空间的材料为非隔热材料；容置空间内设置冰冻磨材。本方案可以通过流体滑环连接外部冷媒供应机构，在磨削过程中，持续向所述冷却流道内供应冷媒对冰冻磨材进行冷却保温，避免冰冻磨材在磨削过程中因温度熔化，提高了冰冻磨材使用寿命，同时保证磨具的持续低温恒温研磨抛光，有效提高了磨料的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113146466 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110279646.8 B24D 18/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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