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一种模块化旋转式空间原子层沉积系统.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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一种模块化旋转式空间原子层沉积系统.pdf

    本发明涉及空间原子层沉积技术领域，提供了一种模块化旋转式空间原子层沉积系统，包括：第一壳体，第一壳体是由多个相同的可拆卸相连的单元腔室组合而成的环形结构，每个单元腔室内均间隔设有多个隔断以将单元腔室分割成多个功能区域腔；多段传动导轨，多段传动导轨上设有多个用于放置晶圆的托盘，多个托盘一一对应地与多个单元腔室相对应，每一段传动导轨设置在第一壳体内的每一个单元腔室中，当单元腔室组合成第一壳体时，多段传动导轨形成闭环，以使多个托盘在多个单元腔室内循环移动；通过将第一壳体设置成环形结构，具有空间紧凑，本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113174589 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110550084.6 (22)申请日 2021.05.20 (71)申请人 北京态锐仪器科技有限公司

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