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一种LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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一种LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备.pdf

    本发明涉及LED封装技术领域，提供了一种针对LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，包括：沉积功能腔室，其内设置有多层沉积单元，每层沉积单元内分别沿其中心向外设置有若干隔断，若干隔断将沉积功能腔室分隔成若干功能腔室，每个功能腔室的外侧分别设有气体注入口/真空抽气口，每层沉积单元上分别设置有气动真空闸门；旋转轴，设置于沉积功能腔室的中心；旋转电机，设置于沉积功能腔室的顶部或底部，用于驱动旋转轴旋转；多个托盘单元，分别设置于多层所述沉积单元中，每个托盘单元的中心分别与旋转轴相连。该LED灯珠薄膜封装

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113174585 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110550885.2 (22)申请日 2021.05.20 (71)申请人 北京态锐仪器科技有限公司

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