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本发明公开了一种射频电源控制器，包括信号发生器、功率放大器、电流放大器、线圈变压模块、负载和直流电源组；信号发生器，可操作以提供一个频率和幅值可调的第一射频信号；功率放大器，其输入端与信号发生器的输出端连接，功率放大器可操作以对射频信号进行电压放大；电流放大器，其输入端与功率放大器的输出端连接，电流放大器可操作以对高功率信号进行电流放大；线圈变压模块，其输入端与电流放大器的输出端、直流电源组的输出端连接，其输出端与所述负载连接，线圈变压模块可操作以对第二射频信号叠加一直流电压，并向负载输出两个幅
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113189190 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110420369.8
(22)申请日 2021.04.19
(71)申请人 中山大学
地址 51
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