感光性硅氧烷组合物.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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感光性硅氧烷组合物.pdf

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[目的]提供一种组合物，其可形成耐化学品性、耐热性以及分辨性优异的低介电性的固化膜。还提供一种使用所述组合物的制造方法。[手段]本发明提供一种组合物，其包含：碱可溶性树脂、聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、暴露于热或者光时产生酸或者碱的化合物、以及溶剂，所述碱可溶性树脂是包含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113156763 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110313361.1 G03F 7/016 (2006.01)