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本发明公开了一种金属电阻探测器及核聚变等离子体物理研究装置,其中探测器包括硅片,硅片的下表面覆盖有导热薄膜,硅片开设有第一窗口和第二窗口,第一窗口和第二窗口内分别设有第一金属薄膜和第二金属薄膜,第一金属薄膜和第二金属薄膜粘合于导热薄膜,硅片上表面设有用于遮挡第二窗口的金属板,导热薄膜的下表面与第一金属薄膜对应的位置粘合有相互嵌套在一起的第一电阻丝和第二电阻丝,导热薄膜的下表面与第二金属薄膜对应的位置粘合有相互嵌套在一起的第三电阻丝和第四电阻丝,四个电阻丝通过导线连接在一起构成电桥结构。本发明大大
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113155281 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202110450660.X (56)对比文件
(22)申请日 2021.04.25
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