一种遮挡板、蒸镀设备及其蒸镀方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种遮挡板、蒸镀设备及其蒸镀方法.pdf

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本发明涉及一种遮挡板、蒸镀设备及其蒸镀方法，其中，遮挡板包括：一圆形遮挡板本体，在所述遮挡板本体上包括至少一个开口区域，所述开口区域允许蒸发分子穿过遮挡板本体；当所述开口区域为多个时，所述开口区域均匀分布在所述遮挡板本体上。有益效果是：通过具有特定开口的可旋转圆形遮板，在蒸镀过程中有效阻挡了大部分蒸发材料，只让少量的蒸发材料通过所述遮板上的开口区域到达基板。在工艺中可大幅提高掺杂材料的蒸发速率，同时将所述掺杂材料的掺杂率维持在极小的目标值，实现了掺杂材料以极小速率沉积的精确控制。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113151788 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110457598.7 (22)申请日 2021.04.27 (71)申请人睿馨（珠海）投资发展有限公司