具有钝化层的薄膜体声波谐振器及制备方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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具有钝化层的薄膜体声波谐振器及制备方法.pdf

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本发明提供了一种具有钝化层的薄膜体声波谐振器及制备方法，包括衬底、压电层、底部电极、顶部电极、第一钝化层以及第二钝化层；压电层设置在衬底的上方，所述压电层与衬底之间设置有空气腔，底部电极设置在压电层和衬底之间，顶部电极设置在压电层的上方；第一钝化层将顶部电极和压电层完全覆盖，第二钝化层位于第一钝化层的上方并将其完全覆盖。采用空气腔，在衬底和谐振器震荡区域之间形成金属和空气的交界面，有助于将声波限制在震荡堆内，提高了谐振器的机械强度；通过第一钝化层和第二钝化层配合，可以有效地隔离谐振器与外界环境，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113162568 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110449910.8 (22)申请日 2021.04.25 (71)申请人浙江信唐智芯科技有限公司