激光扫描显微测量装置及其方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.91万字
约 15页
2023-06-15 发布于四川
举报
版权申诉

激光扫描显微测量装置及其方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及激光扫描显微测量装置及方法，激光器的输出光路上布置半反半透镜，半反半透镜的反射光路上依次布置振镜和扫描物镜，透射光路上布置检测模组；激光器发出激光，经半反半透镜入射到振镜中，振镜控制激光二维偏转，经扫描物镜后，聚焦于三维位移台上的样品上，激光入射到样品后发生反射，返回扫描物镜和振镜，再经半反半透镜后进入检测模组；检测模组获取不同X‑Y‑Z坐标下的图像，以单个或多个CCD元件作为虚拟针孔，获取每幅图像中光强最大的虚拟针孔区域的光强，获得不同X‑Y‑Z坐标下的光强值，得到任意X‑Y坐标下最

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113189757 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110599094.9 (22)申请日 2021.05.31 (71)申请人苏州德龙激光股份有限公司