原创力文档- 1
- 0
- 约6.06千字
- 约 8页
- 2023-06-15 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种微波等离子清洗机，包括上料装置、等离子清洗本体，所述的上料装置包括门把手，电磁门、观察窗、产品支架、载物板、真空吸盘、导轨，所述的等离子清洗本体包括外壳、微波屏蔽板、微波屏蔽罩，石英腔体、微波本体、微波腔、电源、PLC、气体流量控制器、三通配管、真空计、电风扇、微波开关、电磁门开关，控制面板，底座，石英腔体安装在微波屏蔽罩内部，微波腔固定在微波屏蔽板上，微波本体安装在微波腔上部，三通配管固定于出气法兰，与石英腔体相通，真空计固定在三通配管上部，气体流量控制器通过固定板固定在底座上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111785603 A
(43)申请公布日 2020.10.16
(21)申请号 202010696231.6
(22)申请日 2020.07.20
(71)申请人 中国计量大学
地址
文档评论（0）