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石英加热器.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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石英加热器.pdf

    本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种石英加热器。一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在加热壳体内的加热装置，加热壳体上设置有进气口和出气口；还包括：一缠绕管，设置在加热壳体内，两端口分别连通进气口和出气口，缠绕管为采用石英制成的石英管。本实用新型在现有的加热壳体内增设缠绕管，该缠绕管内流通惰性气体，惰性气体隔着缠绕管在加热壳体内进行热交换，由于缠绕管采用的是石英管，即使加热装置是金属加热器，由于惰性气体本身并没有直接与加热壳体接触，因此可保证不会因为金属析出而污染惰性气体。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219177972 U (45)授权公告日 2023.06.13 (21)申请号 202320113190.2 (22)申请日 2023.01.13 (73)专利权人 上海提牛科技股

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