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一种基于FPGA的直写光刻数据处理系统及直写光刻控制装置.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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一种基于FPGA的直写光刻数据处理系统及直写光刻控制装置.pdf

    本实用新型公开了一种基于FPGA的直写光刻数据处理系统及直写光刻控制装置，属于激光直写曝光设备领域。本实用新型的直写光刻数据处理系统使用2块板卡组成最小数据处理系统，分别为数据处理装置以及数据分发校验装置；数据处理装置使用FPGA芯片作为系统的处理端，该装置可以取代PC端数据处理，可以释放CPU主板部分处理逻辑，提升处理速度，提高曝光效率；数据处理装置和数据分发校验装置相互通信，可使用100Gbit/s光纤通讯接口，提升处理传输效率，提高曝光效率；数据分发校验装置可以完全匹配多路激光直写曝光机

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219179770 U (45)授权公告日 2023.06.13 (21)申请号 202223357523.0 (22)申请日 2022.12.12 (73)专利权人 无锡影速半导体科技有限公司 地址

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